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真空泵选型时的注意事项

1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵对氢有很高的抽速，真空泵安装，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，滁州真空泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，SK真空泵，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，真空泵 维修，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

如何维护好真空泵？

1、更换排气过滤器

如果泵温明显升高、电动机，电流达到或超过额定电流，泵排气口有油烟产生，则应检查排气过滤器是否堵塞，如堵塞，应及时更换。可在泵加油孔处安装排气压力表，检查过滤器是否堵塞。当压力超过0.6bar(表压力)时可更换排气过滤器。

2、更换真空泵油及油过滤器

使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。如果油受污染而发黑、乳化或变稠应及时换油。换油同时，应更换油过滤器。并在加入新油之前请清洗泵。

清洗、换油步骤：停泵将热油放掉;旋上放油塞，运转5-10秒，将油放尽;注入清用油(32号普通机械油)到油窗高度的3/4处;运转真空泵5-10分钟;停泵，将油放掉。如放掉的油还是比较浑浊，达不到要求，重复3、4步骤，直到放出的油呈透明状;旋上放油塞运转5-10秒;将油放尽;注入规定的新油即可。

根据真空泵的性能，在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作。

1、主泵。在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵。从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵，

3、前级泵用以使另一个泵的前级压力维持在其许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

4、维持泵。在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。

5、粗(低)真空泵。从大气压开始，降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。

6、高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。

7、超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵。

8、增压泵。装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围内的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵(如机械增压泵和油增压泵等)。