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真空泵特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

旋片真空泵的维修

1、首先要理解泵的类型、特性、如今情况。理解运用请求，肯定修理目的。在停止维修之前，准备好检测手腕。

2、判别毛病，确诊毛病。

3、扫除毛病，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于短少专用工具和操作不当惹起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。普通的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。

4、******、有腐蚀性的泵，应请用户清洗，并告知必要的防护措施，以保证维修人员的安康。

5、毛病分类

倡议把毛病分为运转毛病和性能毛病。

运转毛病可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，功率超标等。

性能毛病可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足请求。

6、毛病判别与诊断例举

6.1泵不转。状况不明不能先开泵，以免加重毛病。用手能盘动和不能盘动。

6.1.1泵能盘动而不转。缘由能够是联轴器毛病;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。

真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。这种类型的泵被广泛应用于冶金，机械，电子，化工，石油，制药等行业的真空冶炼，真空镀膜，真空热处理，真空干燥过程。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。喷油的原因大体上分为两种，，油位实在是太高了，高于真空泵所能够承受的档位。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。